PECVD概念股有：

　　立霸股份603519：

　　公司在營業(yè)總收入方面，從2019年到2022年，分別為12.84億元、12.99億元、15.87億元、14.16億元。

　　在近7個交易日中，立霸股份有4天下跌，期間整體下跌3.76%，最高價為13.16元，最低價為12.66元。和7個交易日前相比，立霸股份的市值下跌了1.23億元。

　　公司作為有限合伙人的嘉興君勵投資于國內半導體設備企業(yè)沈陽拓荊。沈陽拓荊主要從事半導體薄膜設備的研發(fā)、生產和銷售，主要產品包括8英寸和12英寸PECVD（等離子體化學氣相沉積）設備、ALD（原子層薄膜沉積）設備、3DNANDPECVD（三維結構閃存專用PECVD）設備等，產品廣泛應用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等領域的生產制造。

　　通威股份600438：

　　在營業(yè)總收入方面，通威股份從2019年到2022年，分別為375.55億元、442億元、648.3億元、1424.23億元。

　　近7日股價下跌8.67%，2024年股價下跌-4.29%。

　　公司“TNC”技術采用通威自主研發(fā)的PECVD多晶硅沉積技術路線，通過原位摻雜方式降低電阻，提高填充因子，進而提升光電轉換效率。當前以公司“TNC”技術生產的高效組件具備全面量產條件，其雙面組件在全面保證質量的前提下，較傳統(tǒng)的PERC雙面組件平均單W發(fā)電量將增益3%-5%。

　　中來股份300393：

　　在營業(yè)總收入方面，中來股份從2019年到2022年，分別為34.78億元、50.85億元、58.2億元、95.77億元。

　　近7個交易日，中來股份下跌17.89%，最高價為10.6元，總市值下跌了17.54億元，2024年來下跌-14.89%。

　　公司的POPAID技術采用的是PECVD隧穿氧化+PVD多晶硅的解決方案，公司目前未獲知有其他公司使用相同解決方案。